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NS-XY100Z100-01 重載XYZ三維納米定位平臺(tái)
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產(chǎn)品編號(hào)
NS-XY100Z100-01
所屬分類
三維納米臺(tái)
數(shù)量
-
+
庫(kù)存:
1
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品規(guī)格
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NS-XY100Z100-01 重載XYZ三維納米定位平臺(tái)
NS-XY100Z100-01是一款高精度大負(fù)載三維納米定位平臺(tái)，負(fù)載可達(dá) 5kg。閉環(huán)行程可達(dá)100/100/100μm，閉環(huán)分辨率 0.5/0.5/0.5nm。
典型應(yīng)用
• 顯微成像 • 半導(dǎo)體加工
• 激光加工 • 光學(xué)測(cè)量
• 表面檢測(cè)
關(guān)鍵詞:
重載位移臺(tái)
納米位移臺(tái)
壓電定位臺(tái)
高精度定位系統(tǒng)
納米定位平臺(tái)
三維位移臺(tái)
柔性鉸鏈平臺(tái)
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